具有FinFET的逻辑微处理器芯片可交付的高级CMOS Essentials(ACE)包括简洁的分析师的摘要文档,突出显示了以下图像文件夹支持的关键尺寸和突出功能:
- 下游产品拆除
- 包X射线,顶部金属和多模芯片,模具功能的非侵入式光学照片
- 传输(TEM)和(SEM)斜面通过逻辑区域和SRAM
- 一般器件结构的TEM和SEM横截面,后端线(BEOL)(金属,电介质)和线路(FEOL)结构的前端
- 两个TEM横截面,与晶体管栅极指状物和翅片正交,显示较低的金属和电介质,晶体管栅极(NMOS和PMOS),鳍片,隔离和其他FEOL特征。
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