Intel 10nm逻辑过程分析(Cannon Lake)

发布日期:2018年6月12日

英特尔10nm的逻辑流程分析

英特尔10nm的逻辑流程分析

TechInsights找到了人们期待已久的佳能湖——联想IdeaPad330所用的i3-8121U CPU内的英特尔10nm逻辑处理器。

这项创新有以下几点:

  • 逻辑晶体管密度为每毫米100.8兆晶体管2,在14nm节点上增加10nm密度2.7X
  • 采用第三代FinFET技术
  • 从70nm至54纳米的Intel的10个纳米工艺收缩的最小栅极间距
  • 最小金属间距从52纳米缩小到36纳米

过程强调:

  • 目前10纳米和即将到来的7纳米技术的最深入的规模
  • 第一次钴金属化和Ru在BEOL中的应用
  • 新的自对准图案方案在接触和BEOL

设计亮点:

  • 经由6.2-轨道高密度库Hyperscaling
  • 接触上的有源栅极(COAG)单元级使用

英特尔10nm的逻辑流程分析

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