Intel 10nm逻辑过程分析(Cannon Lake)

发布日期:2018年6月12日

英特尔10nm逻辑过程分析

英特尔10nm逻辑过程分析

TechInsights已经找到了已久的Cannon Lake - I3-8121U CPU内的英特尔10nm逻辑流程,用于Lenovo Ideapad330。

这一创新具有以下优点:

  • 逻辑晶体管密度为每毫米100.8兆晶体管2,在14nm节点上增加10nm密度2.7x
  • 利用第三代FinFET技术
  • 英特尔10nm工艺的最小栅极间距从70 nm收缩到54 nm
  • 最小金属间距从52nm到36 nm收缩

过程亮点:

  • 最电流10nm的最深缩放音高,即将到来的7个nm技术
  • 首次在BEOL中使用钴金属化和钌
  • 联系和BEOL的新自我对齐模式计划

设计亮点:

  • 通过6.2轨道高密度库过度垂直
  • 主动门(COAG)细胞级使用接触

英特尔10nm逻辑过程分析

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